調質・発生源機器 — QUBE システムユニット — 高感度精密レギュレータ
高感度精密レギュレータ HP10
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| 形式番号 | ポートサイズ | 減圧範囲 MPa(kgf/cm²) |
最大供給圧力 MPa(kgf/cm²) |
| HP10-2 | Rc1/4 | 0.005~0.4 (0.05~4) |
0.7 (7) |
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